GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法

GB/T 32278-2015  碳化硅单晶片平整度测试方法

标准编号：GB/T 32278-2015
中文标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法
英文标准名称：Test method for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态：现行有效
语言：简体中文版、英文版
发布日期：2015-12-10
实施日期：2017-01-01
标准类别：国家标准GB
中国标准文献分类法(中标分类CCS)：冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法
国际标准分类法(ICS)：冶金 >> 金属材料试验
标准页数：6
标准依据：国家标准公告2015年第38号
文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）或Word版本doc格式
，数显测振仪

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