YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

标准编号：YS/T 1124-2016
中文标准名称：磁性溅射靶材透磁率测试方法
标准状态：现行有效
语言：简体中文版、英文版
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
标准简介：本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）
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