YS/T 1141-2016 钛蒸发料

标准编号：YS/T 1141-2016
中文标准名称：钛蒸发料
标准状态：现行有效
语言：简体中文版、英文版
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
标准简介：本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）
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