YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

标准编号：YS/T 26-2016
中文标准名称：硅片边缘轮廓检验方法
标准状态：现行有效
代替标准号：替代YS/T 26-1992
语言：简体中文版、英文版
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
标准简介：本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。 
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），时代覆层测厚仪砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）

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